■ 超高圧電子顕微鏡施設 機器名 基本仕様 用　途 反応科学超高圧走査透過電子顕微鏡 最高加速電圧； 1000kV 分解能； ＜0.15 nm 3次元観察、STEM、 EELS元素分析 超高圧走査透過電子顕微鏡 最高加速電圧； 1250 kV 分解能； ＜0.14 nm CTEM / STEM 厚い試料の観察 ■ 電子顕微鏡クラスター 機器名 基本仕様 用　途 三次元電子顕微鏡 最高加速電圧； 300 kV 点分解能； 0.236 nm 3Dトモグラフィー （試料傾斜角±70°） 液体温度、 ヘリウム温度での観察・分析 収差補正電子顕微鏡 最高加速電圧　200kV 点分解能:0.09nm 高分能ＴＥＭ像 高分解能暗視野STEM 像 微小電子回折可能 高分解能分析電子顕微鏡 最高加速電圧； 200 kV 点分解能； 0.23 nm 通常観察、電界放出観察 および通電観察 電子分光顕微鏡 最高加速電圧； 200 kV 点分解能； 0.23 nm EELS,スペクトラムイメージング等の高度分析 エネルギー分解能： 0.7-1.2eV,最高0.4ev （デコンボルーションソフトウエア使用時） 分析電子顕微鏡 最高加速電圧； 300 kV 点分解能； 0.18 nm 分析（GIF） 超高温観察、低温観察、 雰囲気観察 高分解能電子顕微鏡 最高加速電圧； 200 kV 点分解能； 0.19 nm 明視野像、暗視野像、 高分解能像 生物用電子顕微鏡 最高加速電圧； 40〜120 kV 点分解能； 0.28 nm 通常観察 汎用電子顕微鏡 最高加速電圧； 200kV TEM点分解能； 0.35 nm 線分解能； 0.14 nm 透過電子顕微鏡、走査電子顕微鏡、走査透過電子顕微鏡、TVカメラ 走査電子顕微鏡 加速電圧；0.2〜30 kV 二次電子像分解能；2 nm (30 kV；ESEMモード、高真空モード) 通常観察、雰囲気制御観察、元素分析、試料マニピュレーション 電界放出型電子顕微鏡 最高加速電圧； 200 kV 点分解能； 0.23 nm 電子線ホログラフィー 200kV電子顕微鏡 最高加速電圧； 200 kV 分解能； ＜ 0.204 nm 分析（EDS） ■ 試料作製装置 機器名 基本仕様 用　途 集束イオンビーム試料作製装置 加速電圧　10〜40ｋＶ 倍率　150〜300,000/60〜300,000（SIM像） イオン銃に搭載されがGaをイオン化し、サンプルへ集束されたイオンビームとして照射し加工する。 低加速イオン研磨装置 Gentle Mill Model IV5 加速電圧0.1〜２ｋV 試料傾斜角：0〜４５° ダメージ層の除去 精密イオンミリング装置 GATAN PIPS Model 691 加速電圧100V〜6.0kV NTT-AT／ プチポリッシャPOP-101 荷重・回転数；一定 粒径；20、3、>1 μm 平面研磨（粗〜仕上げ） メイワ／ カーボンコーターCADE-E 高純度炭素繊維使用 コード時間；1.95 sec. プラズマ放電時間；15 sec. カーボンコート 親水化処理 Copyright（C）2009 名古屋大学 エコトピア科学研究所